北京航空航天大学机械工程及自动化学院多材料等离子体刻蚀机采购公告
2018年04月18日 10:15 来源： 【打印】
公告概要：
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 北京航空航天大学机械工程及自动化学院多材料等离子体刻蚀机 | ||
| 品目 | 货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表 | ||
| 采购单位 | 北京航空航天大学机械工程及自动化学院 | ||
| 行政区域 | 北京市 | 公告时间 | 2018年04月18日 10:15 |
| 开标时间 | 2018年04月25日 09:00 | ||
| 预算金额 | ￥48万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 刘健 | ||
| 项目联系电话 | 010-62686386 | ||
| 采购单位 | 北京航空航天大学机械工程及自动化学院 | ||
| 采购单位地址 | 北京市海淀区学院路37号 | ||
| 采购单位联系方式 | 蒋老师 010-82316603 | ||
| 代理机构名称 | 中钢招标有限责任公司 | ||
| 代理机构地址 | 北京市海淀区海淀大街8号中钢国际广场16层 | ||
| 代理机构联系方式 | 安乐、刘健、张静、封勋010-62688254（购买标书）、62686386、62688251 | ||
| 附件： | |||
| 附件1 | 1841STC50380_采购公告.doc | ||
中钢招标有限责任公司受北京航空航天大学机械工程及自动化学院 委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对北京航空航天大学机械工程及自动化学院多材料等离子体刻蚀机进行其他招标，欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称：北京航空航天大学机械工程及自动化学院多材料等离子体刻蚀机
项目编号：1841STC50380
项目联系方式：
项目联系人：刘健
项目联系电话：010-62686386
采购单位联系方式：
采购单位：北京航空航天大学机械工程及自动化学院
采购单位地址：北京市海淀区学院路37号
采购单位联系方式：蒋老师 010-82316603
代理机构联系方式：
代理机构：中钢招标有限责任公司
代理机构联系人：安乐、刘健、张静、封勋010-62688254（购买标书）、62686386、62688251
代理机构地址： 北京市海淀区海淀大街8号中钢国际广场16层
一、采购项目内容
| 包号 | 采购内容 | 数量 | 交货期 | 交货地点 | 采购需求 |
| 01 | 多材料等离子体刻蚀机 | 1套 | 合同签订后 3 个月内完成安装调试并通过验收。 | 北京，北京航空航天大学指定地点 | 1) ICP等离子体刻蚀设备，用于4英寸及以下样品尺寸 2) 适用于硅基材料的刻蚀工艺，Si刻蚀速率> 450nm/min 3) 样品取放通过LoadLock真空腔室进行，样片自动在Loadlock腔与工艺腔之间进行传送，采用矩形门阀作为双腔之间隔断阀 4) 工艺腔与LoadLock均为一体成型铝腔 5) 工艺的执行为自动化流程 6) 设备控制系统具有异常警报与处理模块，具有用户登录与用户权限分级管理模块，具有工艺数据记录与机台状态记录某块，具有工艺菜单编辑与修改模块 7) 人机交互界面为工业触摸屏 8) 设备具备硬件可配置调节偏置电压的功能 9) 标配四路进气等 具体详见第四章技术需求书。 |
二、开标时间：2018年04月25日 09:00
三、其它补充事宜
四、预算金额：
预算金额：48.0 万元（人民币）
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