清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统中标公告
2019年01月23日 10:36 来源: 【打印】
公告概要:
公告信息: | |||
采购项目名称 | 清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统 | ||
品目 | 货物/专用设备/电工、电子专用生产设备/电子工业专用生产设备 | ||
采购单位 | 清华大学 | ||
行政区域 | 北京市 | 公告时间 | 2019年01月23日 10:36 |
本项目招标公告日期 | 2018年12月29日 | 中标日期 | 2019年01月23日 |
评审专家名单 | 刁宏伟、缪旻、徐菊、刘磊(前述专家均为自选专家)、王谦 | ||
总中标金额 | ¥219.000000 万元(人民币) | ||
联系人及联系方式: | |||
项目联系人 | 李美珍,杨 晶 | ||
项目联系电话 | 62785713 | ||
采购单位 | 清华大学 | ||
采购单位地址 | 清华大学实验室与设备处老环境楼101C办公室 | ||
采购单位联系方式 | 联 系 人:李美珍 ,杨 晶;联系电话:62785713 | ||
代理机构名称 | 详见公告正文 | ||
代理机构地址 | 详见公告正文 | ||
代理机构联系方式 | 详见公告正文 |
“清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统”项目(项目编号:清设招第2018290号) 组织评标工作已经结束,现将评标结果公示如下:
一、项目信息
项目编号:清设招第2018290号
项目名称:清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统
项目联系人:李美珍,杨 晶
联系方式:62785713
二、采购单位信息
采购单位名称:清华大学
采购单位地址:清华大学实验室与设备处老环境楼101C办公室
采购单位联系方式:联 系 人:李美珍 ,杨 晶;联系电话:62785713
三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:
通过感应耦合方式产生高密度等离子体,在半导体衬底或有机衬底上沉积高质量的介质薄膜,包括:氧化硅、氮化硅、氮氧硅薄膜等。
四、中标信息
招标公告日期:2018年12月29日
中标日期:2019年01月23日
总中标金额:219.0 万元(人民币)
中标供应商名称、联系地址及中标金额:
中 标 人:安科瑞泰科技(北京)有限公司
地 址:北京市海淀区农大南路2号楼2层B-206-1
中标金额:219万元人民币
本项目招标代理费总金额:0.0 万元(人民币)
本项目招标代理费收费标准:
无
评标委员会成员名单:
刁宏伟、缪旻、徐菊、刘磊(前述专家均为自选专家)、王谦
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:
电感耦合等离子增强化学气相沉积系统1套
五、其它补充事宜
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