一、项目编号：HCZB2024-102-2（招标文件编号：HCZB2024-102-2）

二、项目名称：科研仪器设备电子束曝光机（二次）

三、中标（成交）信息

供应商名称：锐时科技（北京）有限公司

供应商地址：北京市东城区北三环东路36号1号楼7层A709房间

中标（成交）金额：1066.5000000（万元）

四、主要标的信息

序号	供应商名称	货物名称	货物品牌	货物型号	货物数量	货物单价(元)
1	锐时科技（北京）有限公司	VOYAGER Max主机和标准附件	Raith	VOYAGER Max	1台	10665000.00

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

卫泰瑛（自行聘请），徐辉（自行聘请），陈墨

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：详见本项目单一来源采购文件内关于采购代理费的相关要求。

本项目代理费总金额：7.162700 万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

采购方式：单一来源采购
采用单一来源采购方式的原因及说明：
       电子束曝光是微纳米加工的核心技术，电子束曝光机在量子器件的加工过程中是不可或缺的关键设备。无论是超导量子计算还是拓扑量子计算或者二维材料新奇量子特性的研究都离不开微纳米尺度的加工，从而获得微纳米的尺度进行量子特性的研究。基于目前纳米器件精密加工迫切需求，实现100nm线宽，拼接精度、套刻精度~50nm的图形加工,本次拟采购的1套电子東曝光机须满足以下参数要求：
       拼接精度：500μm写场下，≤50nm,1000μm写场下，≤100nm;套刻精度：500μm写场下，≤40nm,1000μm写场下，≤80nm;图像发生器扫描频率不低于50MHz;加速电压不低于50kV;最小线宽＜50nm;配备激光干涉工作台，激光干涉仪测量分辨率不大于1nm。
       根据全球调研，能满足上述需求且愿意供货同时也没有受到禁运制约的厂家只有德国的Raith。锐时科技（北京）有限公司是厂家Raith在中国的分公司，且是国内唯一销售渠道。因此申请单一来源采购。
       综上，特申请单一来源采购方式，通过锐时科技（北京）有限公司购买所需的1套电子束曝光机。
成交日期：2024年9月29日
项目用途：北京量子信息科学研究院实验室使用。
名称、数量、简要技术需求如下：

序号	货物名称	数量	简要技术需求
1	▲电子束曝光机	1套	1、采用肖特基热场发射电子束源，加速电压不低于50 kV。 …… （详见单一来源采购文件第五章）

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：北京量子信息科学研究院　　　　　

地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼　　　　　　　　

联系方式：010-83057588 转 8052　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：华诚博远工程咨询有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼19层　　　　　　　　　　　　

联系方式：刘天泽 电话：18500706692　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：刘天泽

电　话：　　18500706692