1、工作条件

1.1工作条件：220-240V AC

1.2接地：通过腔体接地

1.3环境温度：15°C–30°C

1.4相对湿度：20%–65%RH（不结露）

2、设备用途

TOF-SIMS适用于金属、无机非金属及有机材料的表面及近表面区域进行微区、高灵敏度元素、同位素及有机成分检测，支持ppm级痕量元素的表面质谱分析。

3、技术规格

3.1一次离子源

★3.1.1类型：Cs表面电离离子枪

3.1.2束流能量：≤5kV

3.1.3束流电流：≥1nA（连续模式下）

▲3.1.4最大重复频率：10kHz

▲3.1.5脉冲宽度：30-150ns（FWHM）

3.1.6入射角：与样品台成50°

3.1.7工作距离：25mm（可调±5mm）

3.1.8最小束斑直径：100μm

3.2溅射离子源

★3.2.1类型：O？气体离子源

▲3.2.2束流能量：3000–5000eV

▲3.2.3束流密度：3-5mA/cm2

3.2.4最小束斑直径：100μm

3.2.5入射角：与样品台成50°

3.2.6工作距离：25–30mm

▲3.2.7最大束流：800nA

3.2.8配置专用离子枪控制器

3.3质量分析器

★3.3.1类型：反射式TOF-MS

▲3.3.2质量分辨率：≥3000（FWHM，m/z>40的有机物）

3.3.3质量范围：>1000amu

3.3.4灵敏度：ppm级

★3.3.5质量精度：±5milli-amu

★3.3.6SIMS电离模式：正离子与负离子

3.3.7离子透镜提取间隙（到样品台）：5mm

★3.3.8脉冲提取：对二次离子实现脉冲聚束提取

3.4电子中和枪

3.4.1电子能量：30-40eV

3.4.2电子电流（DC）：≤200nA（连续模式下）

★3.4.3绝缘体分析：支持

★3.4.4工作模式：脉冲工作，在飞行时间周期内电子中和枪与一次离子枪脉冲、二次提取脉冲交替工作

3.5真空系统

★3.5.1泵组：至少包括2个涡轮分子泵+2个干式涡旋泵

^{★3.5.2分析室极限真空：≤5×10-9Kpa}

3.5.3品传输室抽气时间（大气到真空）：<5min

★3.5.4具备压力超高自动切断电压的安全联锁功能

3.6样品台

3.6.1类型：磁耦合样品导入，UHV兼容，手动XYZ调节器

3.6.2行程范围：X：±10mm，Y：±10mm，Z：0-2mm；X、Y调节围绕中心轴作弧线运动

3.6.3倾斜：无

3.6.4样品托：至少包括4位小样品托（≤10×10mm，厚≤4mm）及1个大样品托（≤18×20mm，厚≤5mm）

3.7光学观察系统

▲3.7.1视场：400μm？3mm

3.7.2法兰安装：CF观察窗

3.7.3 至少包含变焦显微镜、二向色照明器、控制器、相机与彩色监视器

3.8控制系统

3.8.1 至少包括PC控制质谱仪、离子源及探测系统，支持自动SIMS极性切换，并可加载已存储的实验参数

3.9数据采集系统

★3.9.1时间数字转换器TDC

▲3.9.1.1 0.25纳秒计时分辨率

3.9.1.2最大突发速率2GHz

3.9.1.3通过标准USB2.0及以上接口与控制器轻松连接

3.9.2二次离子质谱拓展功能的软件

3.9.2.1 应内置专用程序，实现TDC时间-质量自动转换，生成等间隔质量轴质谱图，保留原始计数

3.9.2.2支持标准格式导入/导出

3.9.2.3能够实现二次离子质谱硬件部分的计算机控制和状态显示，实现数据采集、处理、查看和导出

3.10数据库★3.10.1SIMS谱库：含>1000种材料、>1900组正负离子谱图，内置峰搜索与定量工具。