一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：清采招第20260288号　　　　　　

原公告的采购项目名称：清华大学高密度等离子体化学气相沉积系统（HDPCVD）采购项目　　　　　　

首次公告日期：2026年07月27日　　　　　　

二、更正信息

更正事项：采购文件

更正内容：

更正前：

采购需求偏离表（★号条款）中：

7

★

第四章 二、技术要求

★2.2.7良好的填充性能（可实现深宽比1：2@CD=10um的槽填充工艺)；

更正后：

采购需求偏离表（★号条款）中：

7

★

第四章 二、技术要求

★2.2.7良好的填充性能（可实现深宽比1：2@CD=2µm的氧化硅填充工艺，填充无孔隙)；

更正日期：2026年08月14日　

三、其他补充事宜

本更正公告未提及的事项与招标文件内容保持一致。

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：清华大学　　　　　

地址：北京市海淀区清华园　　　　　　　　

联系方式：010-62780051　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：华诚博远工程咨询有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市丰台区吴家村路57号华诚博远设计产业园　　　　　　　　　　　　

联系方式：周满堂、程泽、黄佳、王雪、李莉010-81123510、010-81123506　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：周满堂、程泽、黄佳、王雪、李莉

电　话：　　010-81123510、010-81123506