3

技术部分（63分）

技术指标响应
（48分）

投标人需对第五章采购需求中“5.1技术要求”逐条进行应答，根据各投标人响应情况进行评分。

1、标注*的实质性响应指标，每有一项实质性响应指标不满足，其投标无效；

2、未标注*的为一般技术指标，每有一项一般技术指标不满足，本项扣1.5分，直至扣完为止。正偏离不加分，全部满足得48分。
注：标注*的为实质性响应指标，每有一项实质性响应指标不满足，其投标无效。

序号

项目

招标人要求值

投标人保证值

射线源

射线源电压范围

包含30~160kV及30~230kV范围，分段可调

★射线管最大功率

≥25w

★射线最大穿透

≥10mm钛

★射线管类型

透射X光管

分辨率及成像

★空间分辨率

≤500nm

★3D成像时间分辨率

≤15s，15s内成像可实现最小体素≤10μm体

★最高空间分辨率时视场尺寸

空间分辨率500nm时，扫描样品范围≥0.45 mm × 0.3 mm （直径×高度）

★常规尺寸样品最高成像分辨率

对于直径50mm的片状样品，实现局部≤1.5μm体素分辨成像

★大尺寸样品最高成像分辨率

对于直径300mm的片状样品，可实现局部≤9μm体素分辨成像

工作模式及光学系统

工作模式

吸收衬度模式、相位衬度模式和原位动态实时成像

聚光镜

椭圆体反射镜式聚光镜，带有光圈系统

X射线聚焦(物镜)系统

菲涅耳衍射波带片X射线聚焦(物镜)系统， 2套， 分别对应50nm和150nm分辨率模式

相衬度光学系统

环形泽尔尼克相移片

高精密样品台

★最大样品尺寸

最大样品直径不小于300mm，最大样品高度不小于400mm

★样品台承重

≥25kg

马达台运行范围

X轴≥12mm，Y轴≥10mm，Z轴≥12mm；运行精度XYZ 20nm，定位精度XYZ 100nm；

样品台旋转角度

可以实现正反360°旋转，原位实验时可以连续旋转超过100周。旋转轴≥R ±140º，运行精度0.004º，定位精度0.01º

样品台与光源距离(SOD)

0-550mm连续可调

样品台与探测器距离(ODD)

0-850mm连续可调

工作距离

覆盖7mm

★轴向位移速度

连续可调，范围覆盖0.1mm/min ~1.0mm/min

原位扩展接口

配备辐射迷宫接口，可以接入光纤、水路、气路和电路等管线；

以上接口类型需与客户确认

原位台外接口

配备通讯控制内、外接口，及专用电缆管理工具，解决原位台适配问题，所提供接口必须至少包括：RJ45、DB串行接口；

样品旋转台配置DB15串行接口，并且DB 15串行接口配备无线滑环，可以跟随旋转台实现没有线路缠绕风险的连续旋转，提供线路的具体连接及使用方法；

以上接口类型需与客户确认

原位加载装置

★原位力学加载装置

提供高达5kN的拉伸力和压力，具有力及位移显示及保持功能；最大满量程误差小于1%；位移速度范围：覆盖0.1μm/min ~10mm/min；最大行程≥10mm；拉伸量≥10-20mm，配置样品夹持装置，可夹持0.05-1mm厚度样品，使用压缩夹具可以达到15-5mm 压缩量；

提供供电、信号和气路连接装置，可以实现连续旋转且没有线路缠绕风险；

可拆装， 原位加载装置上样品尺寸：直径≥10mm、高度≥30mm

★高精度原位力学装置

提供高达200N的高精度拉伸力和压力，具有力及位移显示及保持功能；最大满量程误差小于1%；位移速度范围覆盖0.1μm /min ~1.0mm/min；配置样品夹持装置，可夹持0.05-1mm厚度样品；

提供供电、信号和气路连接装置，可以实现连续旋转且没有线路缠绕风险；

可拆装， 原位加载装置上样品尺寸：直径≥10mm、高度≥30mm

★温湿度原位装置

具备以下环境，且均可独立与原位力学装置耦合。

1，温度环境：

高温温度范围：室温～200℃；

低温温度范围：-150℃到室温

温度精度：+/-1℃以内，温度连续可调；

温度显示分辨率0.2℃；温度稳定性+/-0.2℃；

最大制冷/加热速度：20℃/min；

2，湿度环境：

湿度范围：20%-95%，湿度范围连续可调，可以耦合室温到100℃ 高温环境；

3，气氛环境：

气体氛围：可以接通氧气和氮气进行氛围环境原位；

配备CT样品台承接平台，便于原位装置及功能附件，规避走线与缠绕拉拽；原位加载装置上样品尺寸：直径≥10mm、高度≥30mm

★超高温原位装置

可以和原位力学装置耦合；

1000℃高温装置：最高温度1000℃；装置结构方便试样装卸，配备耐高温水冷承载筒子，保证射线穿过的同时，外部温度不超过40℃。

温度控制精度：±1℃

配备各类滑环，实现加载装置随转台360°无限旋转，进行原位4D拍摄

原位腐蚀装置

可以和原位力学装置耦合；

可以集成带“-40至90”℃下的，耐酸耐碱溶液环境装置，酸性环境≤PH4，碱性液体环境≥PH12；原位加载装置上样品尺寸：直径≥10mm、高度≥30mm

★原位电化学装置

包含1套原位电解池夹具及电解水控制单元：

1、原位电解池夹具：

有效面积≤2cm × 2cm，可以实现加液、加电上转台旋转，可排氢气，可被X光穿透。夹具平整度要求：平均表面粗糙度方差≤10微米。设备本体预留相应管路接口

配备电学、液体和气体滑环，可以实现连续旋转且没有线路缠绕风险；

2、电解水控制单元：

加热范围：室温-90℃； 温控精度：稳态±0.5℃，动态±1℃； 测温范围：0-100℃； 流量范围：0.01-200mL/min（泵空载），阳极侧背压≥3.5MPa； 氢气侧背压≥3.5MPa； 配备纯化柱具备净水功能； 自动补水功能；

原位加载分辨率

样品+原位样品台条件下，旋转直径50mm时，最高不低于1.5μm体素分辨率

探测器

探测器数量及种类

数量≥3；包含高分辨成像、高速成像、超高速动态成像探测器

★高分辨成像探测器

像素数量≥2048 × 2048像素

高分辨成像探测器

探测器像素间距≤13.5μm

高分辨成像探测器

满足以上两项时，成像速度≥1帧/秒

★高速成像探测器

像素数量≥3020 × 1890

高速成像探测器

探测器像素间距≤75μm

高速成像探测器

满足以上两项时，成像速度≥86帧/秒

超高速动态成像探测器

成像速度≥100帧/秒

宽场拼接模式

具备扩展视场扫描功能，支持在样品宽度超过探测器单次视场时，通过探测器水平位移实现多区域扫描与图像融合，可自动拍摄左、右偏移图像并进行无缝拼接，具备自动图像拼接算法，支持重叠区域融合

★快速扫描模式

此模式下样品快速扫描成像在30秒内完成，需满足≥180°下拍摄至少400张图像

软件系统

★数据采集和控制软件系统

能实现设备全系统控制和数字射线图像采集功能，设备通信接口至少包含以太网或者USB

★采集软件

1、可实现通过低分辨率或快速扫描的三维图像，设定任意感兴趣区域，软件对感兴趣区域扫描得到更高分辨率成像；可自动查找同一位置；

2、系统具有用户可编程功能，以在无人值守的情况下采集样品的多组断层扫描数据。最多可实现≥10个感兴趣区的连续自动扫描；

3、配备自动防撞机制，对源、探测器位置进行限位，以保证硬件和样品安全

成像模式及对应体素与视场

（1）大视场模式：64nm体素；65微米视场，体素分辨率≤150nm；

（2）高分辨模式：16nm体素；16微米视场，体素分辨率≤50nm

三维重构软件

能实现三维CT数据重构和优化处理三维数据功能，包括射线硬化、伪影处理、滤波增效等功能，可提供三维重构、缺陷分析、形变前后受力分析、渗透率计算、孔径分析功能

★AI重构功能

需配备制造商原厂基于AI人工智能深度学习的高级三维重构模块，具备一键式AI模型训练，训练的模型可重复使用（需提供深度学习前后重构对比图片，证明提升图像质量和成像效率）。软件模块提供终生许可证，没有使用时间限制

专业三维分析软件

高级三维重构后视图展示、高级数据处理与分析，包括定量化统计分析、高级滤镜、图像分割等

CT分析软件

提供全套可视化CT数据分析和处理软件，可实现三维CT数据的检查、分析和测量以及图像处理等基本功能

原位动态数据采集软件

配备主机原厂开发的原位动态 CT数据采集软件功能模块，可实现样品在原位下CT下50组以上数据无人值守不间断连续采集；以及采集过程中的实时重建和预览软件，从而监控原位过程中的变化（提供真实有效的制造商软件操作演示视频，视频内容包括功能介绍、所使用软件、品牌、型号，以及批量50组以上CT数据原位动态采集的流程，未提供的视为该项负偏离）

动态数据处理软件

配备主机原厂开发的原位动态 CT数据处理软件功能，提供完整的原位动态CT实验的可用实施方案和数据结果（投标文件中需提供50组以上包含原位动态 CT实验数据的批量重建、可视化分析的完整步骤，视频内容包括功能介绍、所使用软件、品牌、型号，以及批量50组以上CT数据原位动态处理的全流程，未提供的视为该项负偏离）

4D数据处理软件

可以提供原位4D数据重建、可视化和数据分析软件功能,并提供详细的功能介绍

采集硬件

★采集工控工作站

系统控制和图像采集处理系统1套，硬盘需为工业级，性能不低于以下：

CPU：Xeon  4316；

GPU：Quadro P2200；

RAM：64GB；

SSD：1TB；

HDD：12TB；

Windows10 enterprise；

额外配备4个硬盘卡槽扩展接口；

32英寸显示器；

可扩容100TB以上硬盘空间；

重建和分析硬件

★重建和分析图形工作站

配置数据分析系统1套，硬盘需为工业级，性能不低于以下：

CPU：Xeon 4316，

GPU：RTX A5000，

RAM：512GB，

SSD：1TB，

HDD：12TB，

Windows10 enterprise，

额外配备4个硬盘卡槽扩展接口，据可扩容100TB以上硬盘空间；

32英寸显示器；

重建及处理终端与采集及处理终端通过快速万兆网络交换机连接，重建工作站可用于处理采集工作站的数

安全运行

UPS（不间断稳压电源）

配备UPS（不间断稳压电源）与市电连接，为系统供电，容量不低于3kVA

辐射屏蔽

自屏蔽式设计，X射线泄露≤1μSv/hr（距离设备外壳10cm以上处），符合辐射安全许可要求

样品室监视功能

样品室内配备可见光相机，可实时监控舱室内样品情况，同时配备防辐射透明观察玻璃窗，可以避免X射线辐射泄漏，能同时实时观察设备内部运转情况。投标文件中需要提供设备的全景视频

预警灯及急停功能

配备≥2个X射线工作的预警灯，紧急按钮≥3个

3

技术部分（63分）

技术指标响应
（48分）

投标人需对第五章采购需求中“5.技术要求”逐条进行应答，根据各投标人响应情况进行评分。全部满足招标文件要求的得48分，标注“#”的重要条款（共7项），每有一项负偏离扣5分，未标注“#”的一般性条款（共20项），每有一项负偏离扣0.65分，本项最低得0分。正偏离不加分。

注：标注★的为实质性响应指标，每有一项实质性响应指标不满足，其投标无效。

序号

项目

招标人要求值

投标人保证值

射线源

★射线源电压范围

包含30~160kV及30~230kV范围，分段可调

★射线管最大功率

≥25w

★射线最大穿透

≥10mm钛

★射线管类型

透射X光管

分辨率及成像

★空间分辨率

≤500nm

★3D成像时间分辨率

≤15s，15s内成像可实现最小体素≤10μm体

★最高空间分辨率时视场尺寸

空间分辨率500nm时，扫描样品范围≥0.45 mm × 0.3 mm （直径×高度）

★常规尺寸样品最高成像分辨率

对于直径50mm的片状样品，实现局部≤1.5μm体素分辨成像

★大尺寸样品最高成像分辨率

对于直径300mm的片状样品，可实现局部≤9μm体素分辨成像

工作模式及光学系统

★工作模式

吸收衬度模式、相位衬度模式和原位动态实时成像

★聚光镜

椭圆体反射镜式聚光镜，带有光圈系统

★X射线聚焦(物镜)系统

菲涅耳衍射波带片X射线聚焦(物镜)系统， 2套， 分别对应50nm和150nm分辨率模式

★相衬度光学系统

环形泽尔尼克相移片

高精密样品台

★最大样品尺寸

最大样品直径不小于300mm，最大样品高度不小于400mm

★样品台承重

≥25kg

★马达台运行范围

X轴≥12mm，Y轴≥10mm，Z轴≥12mm；运行精度XYZ≤20nm，定位精度XYZ≤100nm；

★样品台旋转角度

可以实现正反360°旋转，原位实验时可以连续旋转超过100周。旋转轴≥R ±140º，运行精度0.004º，定位精度0.01º

样品台与光源距离(SOD)

0-550mm连续可调

样品台与探测器距离(ODD)

0-850mm连续可调

★工作距离

覆盖7mm

★轴向位移速度

连续可调，范围覆盖0.1mm/min ~1.0mm/min

原位扩展接口

配备辐射迷宫接口，可以接入光纤、水路、气路和电路等管线；

以上接口类型需与客户确认

#原位台外接口

配备通讯控制内、外接口，及专用电缆管理工具，解决原位台适配问题，所提供接口必须至少包括：RJ45、DB串行接口；

样品旋转台配置DB15串行接口，并且DB 15串行接口配备无线滑环，可以跟随旋转台实现没有线路缠绕风险的连续旋转，提供线路的具体连接及使用方法；

以上接口类型需与客户确认

原位加载装置

原位力学加载装置

提供高达5kN的拉伸力和压力，具有力及位移显示及保持功能；最大满量程误差小于1%；位移速度范围：覆盖0.1μm/min ~10mm/min；最大行程≥10mm；拉伸量≥10-20mm，配置样品夹持装置，可夹持0.05-1mm厚度样品，使用压缩夹具可以达到15-5mm 压缩量；

提供供电、信号和气路连接装置，可以实现连续旋转且没有线路缠绕风险；

可拆装， 原位加载装置上样品尺寸：直径≥10mm、高度≥30mm

高精度原位力学装置

提供高达200N的高精度拉伸力和压力，具有力及位移显示及保持功能；最大满量程误差小于1%；位移速度范围覆盖0.1μm /min ~1.0mm/min；配置样品夹持装置，可夹持0.05-1mm厚度样品；

提供供电、信号和气路连接装置，可以实现连续旋转且没有线路缠绕风险；

可拆装， 原位加载装置上样品尺寸：直径≥10mm、高度≥30mm

温湿度原位装置

具备以下环境，且均可独立与原位力学装置耦合。

1，温度环境：

高温温度范围：室温～200℃；

低温温度范围：-150℃到室温

温度精度：+/-1℃以内，温度连续可调；

温度显示分辨率0.2℃；温度稳定性+/-0.2℃；

最大制冷/加热速度：≥20℃/min；

2，湿度环境：

湿度范围：20%-95%，湿度范围连续可调，可以耦合室温到100℃ 高温环境；

3，气氛环境：

气体氛围：可以接通氧气和氮气进行氛围环境原位；

配备CT样品台承接平台，便于原位装置及功能附件，规避走线与缠绕拉拽；原位加载装置上样品尺寸：直径≥10mm、高度≥30mm

超高温原位装置

可以和原位力学装置耦合；

1000℃高温装置：最高温度1000℃；装置结构方便试样装卸，配备耐高温水冷承载筒子，保证射线穿过的同时，外部温度不超过40℃。

温度控制精度：±1℃

配备各类滑环，实现加载装置随转台360°无限旋转，进行原位4D拍摄

原位腐蚀装置

可以和原位力学装置耦合；

可以集成带“-40至90”℃下的，耐酸耐碱溶液环境装置，酸性环境≤PH4，碱性液体环境≥PH12；原位加载装置上样品尺寸：直径≥10mm、高度≥30mm

★原位电化学装置

包含1套原位电解池夹具及电解水控制单元：

1、原位电解池夹具：

有效面积≤2cm × 2cm，可以实现加液、加电上转台旋转，可排氢气，可被X光穿透。夹具平整度要求：平均表面粗糙度方差≤10微米。设备本体预留相应管路接口

配备电学、液体和气体滑环，可以实现连续旋转且没有线路缠绕风险；

2、电解水控制单元：

加热范围：室温-90℃； 温控精度：稳态±0.5℃，动态±1℃； 测温范围：0-100℃； 流量范围：0.01-200mL/min（泵空载），阳极侧背压≥3.5MPa； 氢气侧背压≥3.5MPa； 配备纯化柱具备净水功能； 自动补水功能；

原位加载分辨率

样品+原位样品台条件下，旋转直径50mm时，最高不低于1.5μm体素分辨率

探测器

探测器数量及种类

数量≥3；包含高分辨成像、高速成像、超高速动态成像探测器

★高分辨成像探测器

像素数量≥2048 × 2048像素

#高分辨成像探测器

探测器像素间距≤5μm

#高分辨成像探测器

满足以上两项时，成像速度≥70帧/秒

★高速成像探测器

像素数量≥3020 × 1890

高速成像探测器

探测器像素间距≤75μm

高速成像探测器

满足以上两项时，成像速度≥86帧/秒

#超高速动态成像探测器

成像速度≥100帧/秒

宽场拼接模式

具备扩展视场扫描功能，支持在样品宽度超过探测器单次视场时，通过探测器水平位移实现多区域扫描与图像融合，可自动拍摄左、右偏移图像并进行无缝拼接，具备自动图像拼接算法，支持重叠区域融合

★快速扫描模式

此模式下样品快速扫描成像在30秒内完成，需满足≥180°下拍摄至少400张图像

软件系统

★数据采集和控制软件系统

能实现设备全系统控制和数字射线图像采集功能，设备通信接口至少包含以太网或者USB

★采集软件

1、可实现通过低分辨率或快速扫描的三维图像，设定任意感兴趣区域，软件对感兴趣区域扫描得到更高分辨率成像；可自动查找同一位置；

2、系统具有用户可编程功能，以在无人值守的情况下采集样品的多组断层扫描数据。最多可实现≥10个感兴趣区的连续自动扫描；

3、配备自动防撞机制，对源、探测器位置进行限位，以保证硬件和样品安全

★成像模式及对应体素与视场

（1）大视场模式：64nm体素；65微米视场，体素分辨率≤150nm；

（2）高分辨模式：16nm体素；16微米视场，体素分辨率≤50nm

三维重构软件

能实现三维CT数据重构和优化处理三维数据功能，包括射线硬化、伪影处理、滤波增效等功能，可提供三维重构、缺陷分析、形变前后受力分析、渗透率计算、孔径分析功能

★AI重构功能

需配备制造商原厂基于AI人工智能深度学习的高级三维重构模块，具备一键式AI模型训练，训练的模型可重复使用（需提供深度学习前后重构对比图片，证明提升图像质量和成像效率）。软件模块提供终生许可证，没有使用时间限制

★专业三维分析软件

高级三维重构后视图展示、高级数据处理与分析，包括定量化统计分析、高级滤镜、图像分割等

CT分析软件

提供全套可视化CT数据分析和处理软件，可实现三维CT数据的检查、分析和测量以及图像处理等基本功能

#原位动态数据采集软件

配备主机原厂开发的原位动态 CT数据采集软件功能模块，可实现样品在原位下CT下50组以上数据无人值守不间断连续采集；以及采集过程中的实时重建和预览软件，从而监控原位过程中的变化（提供真实有效的制造商软件操作演示视频，视频内容包括功能介绍、所使用软件、品牌、型号，以及批量50组以上CT数据原位动态采集的流程，未提供的视为该项负偏离）

#动态数据处理软件

配备主机原厂开发的原位动态 CT数据处理软件功能，提供完整的原位动态CT实验的可用实施方案和数据结果（投标文件中需提供50组以上包含原位动态 CT实验数据的批量重建、可视化分析的完整步骤，视频内容包括功能介绍、所使用软件、品牌、型号，以及批量50组以上CT数据原位动态处理的全流程，未提供的视为该项负偏离）

4D数据处理软件

可以提供原位4D数据重建、可视化和数据分析软件功能,并提供详细的功能介绍

采集硬件

★采集工控工作站

系统控制和图像采集处理系统1套，硬盘需为工业级，性能不低于以下：

处理器：20核40线程；

专业图形处理器显存：5 GB；

RAM：64GB；

SSD：1TB；

HDD：12TB；

Windows10 enterprise；

额外配备4个硬盘卡槽扩展接口；

32英寸显示器；

可扩容100TB以上硬盘空间；

重建和分析硬件

★重建和分析图形工作站

配置数据分析系统1套，硬盘需为工业级，性能不低于以下：

处理器：20核40线程，

专业高性能计算显卡显存：96 GB，

RAM：1TB，

SSD：1TB，

HDD：12TB，

Windows10 enterprise，

额外配备4个硬盘卡槽扩展接口，据可扩容100TB以上硬盘空间；

32英寸显示器；

重建及处理终端与采集及处理终端通过快速万兆网络交换机连接，重建工作站可用于处理采集工作站的数

安全运行

UPS（不间断稳压电源）

配备UPS（不间断稳压电源）与市电连接，为系统供电，容量不低于3kVA

# 能谱断层扫描技术及滤片

预留能谱断层扫描软件和硬件接口，支持未来升级能谱CT断层扫描技术。

设备需配置滤片支架，至少提供 12个或以上 不同材质及厚度的标准滤过片，需涵盖铜（Cu）、锡（Sn）、铝（Al）等不同原子序数的金属材质，以满足不同检测/成像场景下射线能量谱的优化需求。系统需具备良好的开放性与扩展能力，支持用户在后期根据应用需求，自行定制或更换不同材质及厚度的滤片

辐射屏蔽

自屏蔽式设计，X射线泄露≤1μSv/hr（距离设备外壳10cm以上处），符合辐射安全许可要求

样品室监视功能

样品室内配备可见光相机，可实时监控舱室内样品情况，同时配备防辐射透明观察玻璃窗，可以避免X射线辐射泄漏，能同时实时观察设备内部运转情况。投标文件中需要提供设备的全景视频

预警灯及急停功能

配备≥2个X射线工作的预警灯，紧急按钮≥3个