一、项目编号：HCZB2023-157（招标文件编号：HCZB2023-157）

二、项目名称：科研仪器设备电子束曝光机

三、中标（成交）信息

供应商名称：锐时科技（北京）有限公司

供应商地址：北京市东城区北三环东路36号1号楼7层A709房间

中标（成交）金额：1042.8000000（万元）

四、主要标的信息

序号	供应商名称	货物名称	货物品牌	货物型号	货物数量	货物单价(元)
1	锐时科技（北京）有限公司	主机和标准附件	Raith	VOYAGER Max	1台	10428000.00

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

景立刚（自行聘请），吴建清（自行聘请），刘丽。

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：详见本项目单一来源采购文件内关于采购代理费的相关要求。

本项目代理费总金额：7.0798000 万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

1.采购方式：单一来源采购

2.采用单一来源采购方式的原因及说明：

电子束曝光是微纳米加工的核心技术，用于制备纳米器件并在纳米尺度下研究其量子现象，此次拟采购的电子束曝光机须满足以下参数要求：

加速电压不低于50 kV；图形发生器扫描频率不低于50 MHz；最小线宽≤ 50 nm；500 μm写场下，拼接精度≤ 50 nm，套刻精度≤ 40 nm；1000 μm写场下，拼接精度≤ 100 nm，套刻精度≤ 80 nm。

根据全球调研，国内无满足上述技术指标的类似产品，能够满足上述指标的厂家有日本的JEOL、Elionix、Crestec和德国的Raith。目前上述日本几家公司生产的产品已经对中国实施禁运，无法供货，只有德国Raith能正常供货。

锐时科技（北京）有限公司是德国Raith在中国的分公司，是在中国的唯一供货商。

综上，申请采用单一来源的采购方式，从锐时科技（北京）有限公司购置所需的1套电子束曝光机。

3.成交日期：2023年8月22日

4.项目用途：北京量子信息科学研究院实验室使用。

5.名称、数量、简要技术需求如下：

序号	货物名称	数量	简要技术需求
1	▲电子束曝光机	1套	◆1、采用肖特基热场发射电子束源，加速电压不低于50 kV。 …… （详见单一来源采购文件第五章）

注：

• 标注“▲”的，允许提供进口产品；未标注允许提供进口产品的，如供应商所响应货物为进口产品，其响应文件按无效响应处理。
• 本项目共1个包，供应商只可投完整包，不允许将一包中的内容拆开进行响应。

6.合同履行期限：收到预付款后14个月内且出口文件获批后9个月内完成供货，以后到为准。

7.服务要求：详见单一来源采购文件。

8.本公告在中国政府采购网发布。

9.由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：北京量子信息科学研究院　　　　　

地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼　　　　　　　　

联系方式：010-83057588 转 8052　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：华诚博远工程咨询有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼19层　　　　　　　　　　　　

联系方式：于曼，15811596673　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：于曼

电　话：　　15811596673