一、项目编号：HCZB2023-202（招标文件编号：HCZB2023-202）

二、项目名称：科研仪器设备氟化氢蒸汽刻蚀机系统

三、中标（成交）信息

供应商名称：北京波思特电子科技有限公司

供应商地址：北京市丰台区科学城星火路11号2幢1层103室

中标（成交）金额：230.0000000（万元）

四、主要标的信息

序号	供应商名称	货物名称	货物品牌	货物型号	货物数量	货物单价(元)
1	北京波思特电子科技有限公司	主机和标准附件	SPTS	Single wafer PrimaxxuEtch System	1套	2300000.00

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

孟伟（自行聘请），杨先伟（自行聘请），王文彦。

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：详见本项目单一来源采购文件内关于采购代理费的相关要求。

本项目代理费总金额：2.051000 万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

1.采购方式：单一来源采购

2.采用单一来源采购方式的原因及说明：

北京量子信息科学研究院本次拟采购的1套氟化氢蒸汽刻蚀机系统用于在量子芯片制备工艺中，需要去除器件中二氧化硅牺牲层来释放微结构，使器件处于悬空状态。要求系统以无水气相氟化氢为刻蚀气体，气态乙醇作为载气，刻蚀速率在10 nm/min至100 nm/min范围内，刻蚀均匀性，片内均匀性波动≤ ±10%，片间重复性≤ ±10%，可兼容最大直径200 mm圆片和小片。

经全球调研，英国厂家SPTS公司拥有自主知识产权（US9139425B2）的无水氟化氢气相刻蚀工艺，以无水乙醇为催化剂，真正做到无水刻蚀。一方面体现出对硅衬底，金属以及低应力氮化硅等都有非常好的选择性，因为在水汽作用下，金属等其他材料也会被氢氟酸所腐蚀；另一方面在没有水汽的环境中，刻蚀释放的器件不会出现由于液态张力而与衬底表面的粘附性失效。

综上所述，英国SPTS是市场上唯一能生产出以实现氟化氢干法、无水释放二氧化硅牺牲层的刻蚀机厂家。北京波思特电子科技有限公司是厂家授权在大陆唯一代理供货商，因此申请单一来源方式采购所需的氟化氢蒸汽刻蚀机系统。

3.成交日期：2023年10月11日

4.项目用途：北京量子信息科学研究院实验室使用。

5.名称、数量、简要技术需求如下：

序号	货物名称	数量	简要技术需求
1	▲氟化氢蒸汽刻蚀机系统	1套	…… ◆1. 使用纯气态氢氟酸作为刻蚀气体，干法刻蚀二氧化硅牺牲层； …… （详见单一来源采购文件第五章）

注：

• 标注“▲”的，允许提供进口产品；未标注允许提供进口产品的，如供应商所响应产品为进口产品，其响应文件按无效响应处理。
• 本项目共1个包，供应商只可投完整包，不允许将一包中的内容拆开进行响应。

6.合同履行期限：合同签订后14个月内完成供货（免税产品为外贸合同签订后）。

7.服务要求：详见单一来源采购文件。

8.本公告在中国政府采购网发布。

9.由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：北京量子信息科学研究院　　　　　

地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼　　　　　　　　

联系方式：010-83057588 转 8052　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：华诚博远工程咨询有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼19层　　　　　　　　　　　　

联系方式：于曼，15811596673　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：于曼

电　话：　　15811596673