一、项目编号：HCZB2023-189（招标文件编号：HCZB2023-189）

二、项目名称：科研仪器设备微纳增质系统

三、中标（成交）信息

供应商名称：西安爱姆加半导体有限公司

供应商地址：陕西省西咸新区空港新城昭容南街8号中南高科西安临空产业港7号楼2单元

中标（成交）金额：488.5000000（万元）

四、主要标的信息

序号	供应商名称	货物名称	货物品牌	货物型号	货物数量	货物单价(元)
1	西安爱姆加半导体有限公司	主机和标准附件	阿洛斯英公司	欧瑞恩	1套	4885000.00

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

王加加（自行聘请），高光和（自行聘请），张建刚。

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：详见本项目单一来源采购文件内关于采购代理费的相关要求。

本项目代理费总金额：4.041400 万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

1.采购方式：单一来源采购

2.采用单一来源采购方式的原因及说明：

为支持研发量子计算芯片，北京量子信息科学研究院计划采购1套微纳增质系统用于支持制备超导器件、超导-半导体异质结、超导-拓扑材料异质结等结构，其中关键的步骤就是沉积超导薄膜并保证高质量界面，因此薄膜的均匀性要求极高。具体需求：沉积膜厚均匀性波动≤ ±2.0%@ 2英寸基片；腔室极限真空度≤ 9x10^-9 Torr；独立的预真空进样室配备涡轮分子泵组，极限真空度≤ 2x10^-6 Torr；腔室配置至少3个3英寸靶枪，所有靶枪均配备独立的气动挡板和套筒，防止靶材交叉污染。

根据全球调研，阿洛斯英公司生产的微纳增质系统沉积膜厚均匀性波动可达到±2.0%@ 2英寸基片，满足需求。能达到这个均匀性要求主要是因为阿洛斯英公司拥有独家技术，具有独特的“模块化磁体阵列”与冷却水完全隔离，以消除磁体退化和随后的溅射源功能退化。这种技术很好防护磁体内部，并允许相同的源可以用于所有靶材材料以及工作模式。调研中发现，美国公司和以色列公司的产品薄膜沉积均匀性波动可以做到±5%@ 6英寸基片、±3%@ 2英寸基片，但不满足需求。

综上所述，目前市面上只有阿洛斯英公司生产的微纳增质制备系统能满足需求。西安爱姆加半导体有限公司是阿洛斯英公司在中国大陆独家代理公司，因此特申请单一来源方式采购。

3.成交日期：2023年10月25日

4.项目用途：北京量子信息科学研究院实验室使用。

5.名称、数量、简要技术需求如下：

序号	货物名称	数量	简要技术需求
1	▲微纳增质系统	1套	1.1 304不锈钢超高真空反应腔体，腔室尺寸不小于15.6英寸（高） x 14英寸（外径）； …… （详见单一来源采购文件第五章）

注：

• 标注“▲”的，允许提供进口产品；未标注允许提供进口产品的，如供应商所响应产品为进口产品，其响应文件按无效响应处理。
• 本项目共1个包，供应商只可响应完整包，不允许将一包中的内容拆开进行响应。

6.合同履行期限：收到预付款后12个月内完成供货。

7.服务要求：详见单一来源采购文件。

8.本公告在中国政府采购网发布。

9.由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：北京量子信息科学研究院　　　　　

地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼　　　　　　　　

联系方式：010-83057588 转 8052　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：华诚博远工程咨询有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼19层　　　　　　　　　　　　

联系方式：于曼，15811596673　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：于曼

电　话：　　15811596673