项目概况

AlN镀膜设备采购招标项目 招标项目的潜在投标人应在上海国际招标有限公司网站（www.shabidding.com）获取招标文件，并于2026年11月16日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：2505004092

项目名称：AlN镀膜设备采购招标项目

预算金额：2725.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：2725.000000 万元（人民币）

采购需求：

采购标的名称：AlN镀膜设备
数量：1套
简要技术要求：采用磁控溅射物理气相沉积（PVD）原理，在高真空环境下通过直流脉冲（DC Pulse）或射频（RF）电源激发Ar/N？等离子体，轰击Al靶或AlSc合金靶材，使靶材原子溅射并沉积在加热的晶圆基板上，形成AlN或AlScN压电薄膜。设备采用集簇式（Cluster）架构，将多个工艺腔室围绕中央真空传输腔布置，实现从预清洗、电极沉积到压电层生长的全流程高真空无缝传递，有效避免界面污染。系统兼具ICP刻蚀/预清洗、AlN种子层沉积、AlScN压电层沉积、Mo/Ru/W金属电极沉积及多靶材共溅射等功能，支持全自动操作。可在同一真空系统中实现AlN/AlScN压电薄膜叠层的高精度原位沉积，满足XRD摇摆曲线半高宽（FWHM）≤1.5°、片内厚度均匀性≤0.5%等严苛指标要求。应用领域覆盖超声神经调控换能器、MEMS射频器件、脑机接口压电传感单元、压电MEMS器件原型开发等，是制备下一代高性能压电器件核心材料不可或缺的关键工艺装备。
是否允许采购进口产品或服务：本项目允许采购进口产品或服务。

合同履行期限：合同签订后，且收到采购人发货指令后12个月内，设备到达采购人指定地点。待接到招标人通知完成设备安装调试验收。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目为非专门面向中小微企业采购的项目，大中小微型企业均可参加投标。
本项目采购标的所属行业为《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔2011〕300号的附件）中所述的“工业”。
本次招标执行本国产品标准、政府强制或优先采购节能和环境标志产品、促进中小微企业、促进残疾人就业、支持监狱和戒毒企业、扶持不发达地区和少数民族地区以及支持科学进步等相关政策。
符合财库〔2017〕141号文规定条件的残疾人福利性单位、符合财库〔2014〕68号文规定条件的监狱和戒毒企业均视同小微企业。

3.本项目的特定资格要求：1. 满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：为此，投标人应按《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十七条第一款的规定在投标文件中提供下列证明材料和书面声明：（a）法人或者其他组织的营业执照等证明文件，自然人的身份证明；（b）财务状况报告，由税务机关出具的依法缴纳税收的凭证（或依法享受免税的证明）和社会保障资金的相关证明材料（提供由当地社保中心或类似机构出具的交纳社保资金证明材料），依法缴纳税收的凭证以打印日期为准；（c）参加政府采购活动前三年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明。2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目为非专门面向中小微企业采购的项目，大中小微型企业均可参加投标。本项目采购标的所属行业为《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔2011〕300号的附件）中所述的“工业”。3.本项目的特定资格要求：（1） 参加政府采购活动前三年内（从2023年10月26日至今）未被列入失信被执行人、重大税收违法失信主体或政府采购严重违法失信行为记录名单。（2） 采用进口设备投标且无法自行签署外贸合同的投标人须在其投标文件中如实提供本项目招标文件“第六章 投标文件格式”中的“外贸合同签署和收付货款事宜授权书（可自行签署外贸合同的投标人无须提供）”。

三、获取招标文件

时间：2026年10月26日  至 2026年11月02日，每天上午8:00至12:00，下午12:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：上海国际招标有限公司网站（www.shabidding.com）

方式：线上领购

售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2026年11月16日 09点00分（北京时间）

开标时间：2026年11月16日 09点00分（北京时间）

地点：上海市延安西路358号美丽园大厦19楼1904-1会议室

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.招标文件在本项目招标公告规定时间内从上海国际招标有限公司网站(https://www.shabidding.com) （以下简称官网）在线领购招标（或采购）文件。
（1）潜在投标人（或供应商）首次使用该网站需要完成注册程序，注册时需要提供《供应商注册专用授权函和承诺书》（可从供应商注册页面下载）盖章扫描件，潜在投标人（或供应商）应当提前准备，尽早办理，以免影响领购招标（或采购）文件。
（2）已注册的潜在投标人（或供应商）可从网站采购公告栏的相应公告中进在线领购招标（或采购）文件流程。若公告要求提供法定代表人授权书等领购资料的（资料格式可从公告附件下载），潜在投标人（或供应商）应当上传相关资料的原件扫描件，否则采购代理机构有权拒绝向其出售招采购文件。无需提供领购资料的项目，潜在投标人（或供应商）提交领购申请并支付费用到账后即可下载电子招标（或采购）文件。项目经理会将纸质文件快递给潜在供应商。发票将以电子发票的形式发送到潜在投标人（或供应商）登记的电子邮箱。
（3）对于未按上述要求进行注册并领购招标（或采购）文件的潜在投标人（或供应商），代理机构有权拒收其提交的投标（或响应）文件，对已经接收的投标（或响应）文件也将提请评标（或评审）委员会作无效投标（或响应）文件处理。
（4）若有任何关于上海国际招标有限公司网站(https://www.shabidding.com)的操作问题，请致电86-21-32173705，咨询相关老师。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：zycgr22011903　　　　　

地址：上海市合川路2380号　　　　　　　　

联系方式：王老师，021-64220901　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：上海国际招标有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：上海市延安西路358号美丽园大厦14楼　　　　　　　　　　　　

联系方式：阮相儒、徐迪、何沛霖 021-32173699、32173620　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：阮相儒，徐迪，何沛霖

电　话：　　021-32173699、32173620