项目概况

验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目 招标项目的潜在投标人应在上海国际招标有限公司网站(www.shabidding.com)获取招标文件，并于2026年11月16日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：2505004096

项目名称：验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目

预算金额：2341.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：2341.000000 万元（人民币）

采购需求：

项目名称：验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目
本项目总预算金额：人民币2341万元
本项目总最高限价：人民币2341万元
其中各设备分项预算和最高限价如下：
设备1：自动剥离机 
预算金额：人民币198万元
最高限价：人民币198万元
设备2：光刻胶喷胶机 
预算金额：人民币280万元
最高限价：人民币280万元
设备3：自动匀胶显影设备inline 
预算金额：人民币750万元
最高限价：人民币750万元
设备4：自动匀胶显影设备 
预算金额：人民币308万元
最高限价：人民币308万元
设备5：晶圆清洗机
预算金额：人民币185万元
最高限价：人民币185万元
设备6：单片RCA清洗机 
预算金额：人民币620万元
最高限价：人民币620万元
采购需求：
采购标的名称：验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目
设备1：自动剥离机
数量：1套
简要技术要求：自动剥离机是lift-off（剥离）工艺的专用自动化设备，该设备用于高效、无损地去除光刻胶及其上方覆盖的金属，从而形成所需的金属图形。设备通过精确控制基片在加热的剥离液中的浸泡、超声扰动、喷淋清洗及干燥等全过程，替代传统手动操作，能显著提高剥离工艺的效率和一致性，并极大减少因操作不当导致的图形损伤或残留，有效提升产品良率。该设备是实现柔性神经电极中贵金属（如金、铂铱）导线图形化的最后一环，是中试平台能力的体现，其稳定性对降低成本至关重要。
上述采购需求中未明确允许采购进口产品的，视为拒绝进口产品参加。
合同履行期限：合同签订后，且收到采购人发货指令后8个月内，待接到招标人通知完成设备安装调试验收。
设备2：光刻胶喷胶机
数量：1套
简要技术要求：自动喷胶机区别于传统的旋涂技术。其核心技术在于通过精密的雾化喷嘴，将光刻胶溶液雾化为微米级的均匀液滴，在程序控制的扫描路径下，将胶雾沉积于静止或低速旋转的基片表面，随后通过温和的干燥和固化过程形成连续、均匀的胶膜。该设备是满足MEMS器件或特殊图形的需求，实现平台多维度的研发目标，完成三维微纳器件制造的关键设备。
上述采购需求中未明确允许采购进口产品的，视为拒绝进口产品参加。
合同履行期限：合同签订后，且收到采购人发货指令后8个月内，待接到招标人通知完成设备安装调试验收。
设备3：自动匀胶显影设备inline
数量：1套
简要技术要求：采购设备为 200mm（8 寸）inline全自动匀胶显影机，与上海微电子 KrF 光刻机（scanner）Inline 联机使用，完成曝光之外的全部光刻工序：HMDS 增粘、旋转涂胶、软烘、曝光后烘烤（PEB）、显影、硬烘、冷板冷却、EBR 去边/背面清洗及片盒到片盒全自动传送。设备须支持 SECS/GEM 联机通讯，可通过接口机器人、承片单元与缓冲片盒与光刻机自动对接，同时支持 Offline 独立运行模式（可单独完成涂胶或显影工艺）。
上述采购需求中未明确允许采购进口产品的，视为拒绝进口产品参加。
合同履行期限：合同签订后，且收到采购人发货指令后8个月内，待接到招标人通知完成设备安装调试验收。
设备4：自动匀胶显影设备
数量：1套
简要技术要求：自动匀胶机是实现晶圆表面光刻胶或功能材料薄膜均匀涂覆的核心工艺装备。其通过高精度控制基片旋转的转速、加速度和旋转时间，利用离心力使滴涂的胶体均匀铺展，从而获得厚度高度均匀、无缺陷的薄膜。自动化程序可存储和精确复现不同材料的工艺配方，极大保证了工艺的重复性和一致性，是平台中试能力建设的体现。该设备将广泛用于柔性神经电极和其他器件制造中光刻胶、聚酰亚胺前驱体等多种溶液的涂覆工艺。
上述采购需求中未明确允许采购进口产品的，视为拒绝进口产品参加。
合同履行期限：合同签订后，且收到采购人发货指令后8个月内，待接到招标人通知完成设备安装调试验收。
设备5：晶圆清洗机
数量：1套
简要技术要求：晶圆清洗机是为确保薄膜沉积与光刻工艺前衬底表面绝对洁净而设计的高可靠性系统。本次采购的晶圆清洗机，集成多种化学药剂清洗手段，可集成ACT-NE14等化学清洗液清洗干法刻蚀产生的有机物残留，同时兼容金、铜、铝等刻蚀液，实现有机物残留和金属清洗去除。
上述采购需求中未明确允许采购进口产品的，视为拒绝进口产品参加。
合同履行期限：合同签订后，且收到采购人发货指令后8个月内，待接到招标人通知完成设备安装调试验收。
设备6：单片RCA清洗机
数量：1套
简要技术要求：全自动RCA清洗设备是依据经典的RCA清洗法原理构建的全自动单片湿法处理系统。其核心工作原理是通过程序控制，使晶圆依次接触一系列特定温度、特定配比的高纯度化学药液，利用物理与化学反应协同作用去除表面污染物。标准RCA工艺序列通常包括：SPM混合液去除有机残留物；DHF漂洗去除自然氧化层及部分金属污染物；SC1溶液通过氧化与络合作用去除颗粒及部分金属；SC2溶液进一步去除碱金属及阳离子污染物。该设备能实现多片晶圆流水线式作业，在保证极致洁净效果的同时，满足中试规模对产能与效率的要求。
上述采购需求中未明确允许采购进口产品的，视为拒绝进口产品参加。

合同履行期限：合同签订后，且收到采购人发货指令后8个月内，待接到招标人通知完成设备安装调试验收。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目为非专门面向中小微企业采购的项目，大中小微型企业均可参加投标。
本项目采购标的所属行业为《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔2011〕300号的附件）中所述的“工业”。

3.本项目的特定资格要求：（1） 参加政府采购活动前三年内（从2023年10月26日至今）未被列入失信被执行人、重大税收违法失信主体或政府采购严重违法失信行为记录名单。

三、获取招标文件

时间：2026年10月26日  至 2026年11月02日，每天上午8:00至12:00，下午12:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：上海国际招标有限公司网站(www.shabidding.com)

方式：线上获取。潜在投标人应在上述规定时间内获取招标文件，逾期不再办理。未按规定获取招标文件的潜在投标人将被拒绝参加投标。 潜在投标人首次使用该网站需进行免费注册，注册时应按要求提供《供应商注册专用授权函和承诺书》（可从供应商注册页面下载）和营业执照等扫描件，供应商应当提前准备，尽早办理，以免影响获取招标文件。 已注册的潜在投标人可从网站采购公告栏的相应公告中进入在线获取招标文件流程。潜在投标人提交获取申请并支付费用到账后即可下载电子招标文件。招标代理机构会将纸质招标文件快递给潜在投标人，电子发票将发至投标人登记的邮箱。

售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2026年11月16日 09点00分（北京时间）

开标时间：2026年11月16日 09点00分（北京时间）

地点：上海市延安西路358号美丽园大厦19楼1904-1会议室

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.招标文件在本项目招标公告规定时间内从上海国际招标有限公司网站(https://www.shabidding.com) （以下简称官网）在线领购招标（或采购）文件。
（1）潜在投标人（或供应商）首次使用该网站需要完成注册程序，注册时需要提供《供应商注册专用授权函和承诺书》（可从供应商注册页面下载）盖章扫描件，潜在投标人（或供应商）应当提前准备，尽早办理，以免影响领购招标（或采购）文件。
（2）已注册的潜在投标人（或供应商）可从网站采购公告栏的相应公告中进在线领购招标（或采购）文件流程。若公告要求提供法定代表人授权书等领购资料的（资料格式可从公告附件下载），潜在投标人（或供应商）应当上传相关资料的原件扫描件，否则采购代理机构有权拒绝向其出售招采购文件。无需提供领购资料的项目，潜在投标人（或供应商）提交领购申请并支付费用到账后即可下载电子招标（或采购）文件。项目经理会将纸质文件快递给潜在供应商。发票将以电子发票的形式发送到潜在投标人（或供应商）登记的电子邮箱。
（3）对于未按上述要求进行注册并领购招标（或采购）文件的潜在投标人（或供应商），代理机构有权拒收其提交的投标（或响应）文件，对已经接收的投标（或响应）文件也将提请评标（或评审）委员会作无效投标（或响应）文件处理。
（4）若有任何关于上海国际招标有限公司网站(https://www.shabidding.com)的操作问题，请致电86-21-32173705，咨询相关老师。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：zycgr22011903　　　　　

地址：上海市合川路2380号　　　　　　　　

联系方式：王老师 021-64220901　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：上海国际招标有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：上海市延安西路358号美丽园大厦14楼　　　　　　　　　　　　

联系方式：徐迪，阮相儒，何沛霖 021-32173620、021-3217369　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：徐迪，阮相儒，何沛霖

电　话：　　021-32173620、021-32173699