广东省机电设备招标有限公司受暨南大学 委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对暨南大学物理与光电工程学院电子束光刻机(EBPG)2027-2029年延保服务项目进行其他招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：暨南大学物理与光电工程学院电子束光刻机(EBPG)2027-2029年延保服务项目

项目编号：M4400000707541430001

项目联系方式：

项目联系人：廖工、岑工

项目联系电话：020-83542319、020-83547060

采购单位联系方式：

采购单位：暨南大学

采购单位地址：广州市天河区黄埔大道西601号

采购单位联系方式：顾老师，020-85220458

代理机构联系方式：

代理机构：广东省机电设备招标有限公司

代理机构联系人：廖工、岑工，020-83542319、020-83547060

代理机构地址： 广东省广州市越秀区环市中路316号金鹰大厦9楼

一、采购项目内容

（一）项目信息

采购人：暨南大学

项目名称：暨南大学物理与光电工程学院电子束光刻机(EBPG)2027-2029年延保服务项目

拟采购的货物或者服务的说明：

1、项目概况

采购预算：人民币65.232291万元/年

服务期限：首次服务时间为2026年12月20日至2027年12月19日，总服务期三年，合同一年一签。

2、服务内容

（1）所有 Raith电子束光刻机的软件更新：在合同期间提供系统控制软件 BEAMS 的所有更新版本。

（2）远程技术服务：通过电话、邮件、远程工具等进行远程技术支持。

（3）一次预防性维护拜访，预防性维护内容包括初步检查和任何后续行动、真空系统和泵检查、电子检查、性能检查等所有费用。

（4）若系统出现故障或需要更换灯丝/光阑的情况下，提供三次现场维修服务（现场服务不超过 120 个工时/年）。

（5）服务期内的备件/耗材覆盖范围：如果在首次服务合同期末（2027 年12 月 19 日）未用完备件/耗材的额度，将作为上期遗留额度记入下一年度的服务预算中。但是只能转移两年。

拟采购的货物或服务的预算金额：65.232291万元（人民币）

采用单一来源采购方式的原因及说明：

已购置的电子束光刻机（EBPG）（制造商：荷兰Raith B.V.公司）维保将于2026年12月20日到期。该设备是微纳加工领域的核心重要设备，目前不仅服务于采购人校内用户，还为中山大学、广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院、华为终端有限公司等校外单位提供加工服务，设备使用率较高。该设备属于大型精密仪器，结构复杂，电路元件众多，包含大量非标机械部件与电路板，例如高速运动马达、高速信号处理电路板等；多数元件的相关信息为制造商独有，第三方无法获取，因此设备的维护保养与维修服务只能由制造商提供。为保障设备长期稳定运行，拟向锐时科技（北京）有限公司（荷兰Raith B.V.公司在中国境内的唯一子公司）采购原厂维护保养与维修服务。

综上，本项目符合《中华人民共和国政府采购法》“第三十一条 只能从唯一供应商处采购的”情形，拟采用单一来源采购方式进行采购。

（二）拟定供应商信息

名称：锐时科技(北京)有限公司

地址：北京东城区北三环东路 36 号环球贸易中心 A 座 709 室

（三）公示期限

2026年10月15日 至 2026年10月22日

二、开标时间：

三、其它补充事宜

如对本项目拟采用单一来源采购方式有异议的，请在公示期内以书面形式反馈采购人、采购代理机构，逾期不予受理。

四、预算金额：

预算金额：65.232291 万元（人民币）