ZYCGR22011903刻蚀相关设备（深硅刻蚀机、RIE、ICPRIE）中标公告
2026年10月15日 16:52 来源： 【打印】
公告概要：
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | ZYCGR22011903刻蚀相关设备（深硅刻蚀机、RIE、ICPRIE） | ||
| 品目 | 货物/设备/仪器仪表/分析仪器/其他分析仪器 | ||
| 采购单位 | zycgr22011903 | ||
| 行政区域 | 上海市 | 公告时间 | 2026年10月15日 16:52 |
| 评审专家名单 | 叶军安、李非中、蔡玉钊、王勤典、高俊峰、陶凯、陈慧娟 | ||
| 总中标金额 | ￥3665.000000 万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 艾克老师 | ||
| 项目联系电话 | 021-64220901 | ||
| 采购单位 | zycgr22011903 | ||
| 采购单位地址 | 上海市合川路2380号 | ||
| 采购单位联系方式 | 艾克老师 021-64220901 | ||
| 代理机构名称 | 上海机电设备招标有限公司 | ||
| 代理机构地址 | 上海市长寿路285号恒达大厦11楼 | ||
| 代理机构联系方式 | 杨帆，张洁玮，沈飏 021-32557719，32557775 | ||
| 附件： | |||
| 附件1 | 合3-招标文件-刻蚀相关设备（深硅 RIE ICP）发售稿20260921.pdf | ||
一、项目编号：0613-267128054588（招标文件编号：0613-267128054588）
二、项目名称：ZYCGR22011903刻蚀相关设备（深硅刻蚀机、RIE、ICPRIE）
三、中标（成交）信息
供应商名称：北京北方华创微电子装备有限公司
供应商地址：北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
中标（成交）金额：3665.0000000（万元）
四、主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价(元) |
| 1 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 深硅刻蚀机；RIE；低损伤ICPRIE；金属刻蚀ICPRIE | NAURA；NAURA；NAURA；NAURA | NMC508SVM；NMC508RIE；NMC508SEG；NMC508M | 1台；1台；1台；1台 | 9900000.00；7950000.00；9600000.00；9200000.00 |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
叶军安、李非中、蔡玉钊、王勤典、高俊峰、陶凯、陈慧娟
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：本项目的招标代理服务费由中标人在《中标通知书》发出后的30天内向招标代理机构一次性支付5.8万元。
本项目代理费总金额：5.800000 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
1、北京北方华创微电子装备有限公司最终得分91.66分，综合排序第一。
2、如对中标结果有异议，请于本公告有效期截至之日起七个工作日内以书面形式一次性向上海机电设备招标有限公司提出质疑（地址：上海市普陀区长寿路285号恒达大厦11楼，邮编：200060，联系人：张洁玮、沈飏，联系电话：021-32557719，021-32557775）
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：zycgr22011903
地址：上海市合川路2380号
联系方式：艾克老师 021-64220901
2.采购代理机构信息
名 称：上海机电设备招标有限公司
地 址：上海市长寿路285号恒达大厦11楼
联系方式：杨帆，张洁玮，沈飏 021-32557719，32557775
3.项目联系方式
项目联系人：艾克老师
电 话： 021-64220901
相关公告
